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1998年的一张合影,被岁月磨得有些泛黄。画面里,张汝京站在一群穿蓝色工服的技术人员中间,没穿西装,没打领带,袖口挽到小臂,镜片后的眼睛亮得惊人。彼时,他刚带着台湾团队帮无锡华晶完成了一场“技术突围”——把“技术突围”——把芯片制造工艺从长期停滞的2-3微米,一举冲到0.5微米。这个突破有多重要?要知道,华晶作为“908工程”的核心,是当时大陆唯一有规模的集成电路企业,可从德国西门子引进5英寸生产线年都没能实现技术迭代,1997年投产时,国际主流已经是0.35微米工艺了。张汝京的到来,不仅让华晶成为大陆第一家“纯晶圆代工”企业,更让沉寂的大陆芯片产业看到了追赶世界的可能,可这也让台湾当局坐立难安,更让台积电的张忠谋暗生忌惮。
没人知道,这双专注于芯片工艺的眼睛里,藏着一个跨越半生的承诺。张汝京生于1948年的南京,不到一岁便随父母迁往台湾。他的父亲张锡纶是著名炼钢专家,母亲刘佩金是化学专家,抗战时期两人都在重庆第21兵工厂效力——父亲指挥炼钢,母亲钻研火药,这家工厂生产了全国60%的枪炮,是支撑抗战的“工业脊梁”。临走前,父亲摸着他的头问:“什么时候能够回祖国大陆建一座工厂?”这句话像一颗种子,埋在他心里,再加上母亲闲暇时讲解《史记》里忠孝节义的故事,家国情怀早已刻进了他的骨子里。
1970年,张汝京从台湾大学工程科学系毕业,揣着父亲的嘱托远赴美国深造,先后拿下纽约州立大学布法罗分校工程科学硕士学位和南方卫理公会大学电子工程博士学位。1977年,29岁的他加入美国半导体巨头德州仪器,一待就是二十年——这二十年里,他遇到了改变职业生涯的恩师、集成电路发明人杰克·基尔比,在其实验室工作的四年里,打下了扎实的技术根基。之后在邵子凡博士的提携下,他成了行业里公认的“建厂狂魔”——连续在美国、日本、新加坡、意大利、中国台湾等多地主持晶圆厂建设,参与了十余座芯片工厂的搭建与运营,从厂房规划到设备调试,从技术攻坚到团队管理,把半导体制造的每一个环节都摸得通透。
1997年,干满20年的张汝京按规定提前退休,第一站就来了大陆——他受邀参与无锡华晶上华的6英寸晶圆厂改建,这是他第一次真正意义上在大陆践行“建厂”初心。彼时的华晶虽然有国家20多亿资金支持的“908工程”,但因行政审批繁琐、资金拨付滞后,项目拖了12年才投产,早已落后于国际水平。张汝京带着团队一头扎进车间,白天和工人一起调试设备,晚上对着图纸优化流程,只用了短短数月就完成了改建,为后续0.5微米工艺突破埋下伏笔。
在他的带领下,世大半导体三年就实现盈利,一跃成为台湾第三大半导体制造企业,建厂计划也提上了日程。可就在此时,台积电突然抛出50亿美元的收购要约——谈判桌上,张汝京反复确认“大陆建厂”的承诺,对方口头答应,可收购协议一签,张忠谋就翻脸不认账,直言“大陆不需要芯片工厂,也建不起”。那一刻,他彻底明白,张忠谋“根本不希望大陆有芯片产业”。他没丝毫犹豫,放弃了手里价值不菲的台积电股票,做出了人生中最疯狂的决定:带着团队回大陆,自己建一座属于中国人的芯片工厂。
为了避免重蹈世大半导体的覆辙,张汝京在中芯成立之初就做了一个关键决策:股权分散。他凭借自己在行业内的口碑,一口气吸引了上海实业、高盛、华登国际、汉鼎亚太等16家国内外知名投资商,既解决了资金问题,也筑起了抵御资本干预的“防火墙”。可即便如此,建芯片工厂的“烧钱速度”还是超出想象——一条生产线就要几亿美元,初期融资远远不够。张汝京成了“空中飞人”,美国东西海岸的简陋酒店会议室里,经常能看到他的身影:穿着洗得发白的衬衫,拿着幻灯片,一遍遍地讲“中国芯片的未来”。有投行老板嘲讽他“异想天开”,他不恼,只是拿出自己在德州仪器的履历,凭着“主持过全球10多座芯片工厂”的硬实力,硬是在一年里融到了10亿美元。
钱的问题刚缓解,设备封锁又成了拦路虎。当时美国对中国实施“n-2”技术禁运,只允许出口落后两代的技术,0.18微米光刻机作为核心设备,没有厂商敢卖。张汝京想到了自己的基督徒身份,动用个人关系找到美国五大教会组织背书,拍着胸脯保证“中芯的技术只用于民用,绝不碰军工”,硬生生用诚意打动了对方,拿到了出口许可。为了省钱,他还满世界“淘”二手设备:天津摩托罗拉淘汰的旧生产线,他派团队拆了半个月,零件一个个打包运回来;欧洲厂商淘汰的检测设备,他亲自趴在机器上验货,确认能用才下单,甚至以“抄底价”购入了0.13微米制程的二手光刻机,大幅降低了成本。
他的“抠门”和“拼命”,成了中芯团队的共识。创业初期,他把临时办公室设在集装箱里,自己住进工地旁的铁皮房——夏天像蒸笼,冬天像冰窖,晚上能听到老鼠跑过的声音,可他每天天不亮就起来,拿着图纸在荒地里转悠,比施工队的工人还勤快。他穿着衬衫套毛衣,戴着卡西欧电子表,开着小排量的老式桑塔纳,吃着7块钱的盒饭,中芯一厂主厂房上梁时,也只花20块钱放了1000响鞭炮庆祝。开工第一天,他带着高层主管钻进无尘室,亲自用酒精沾布,蹲在地上一块一块擦地板:“芯片制造容不得一点灰尘,我们自己都不重视,怎么要求工人?”。那些日子里,他每天在厂里巡视数次,每次要花两个多小时,从厂房建设到设备安装,从原材料采购到技术调试,每个细节都不放过。
奇迹终究发生了。从打地桩到第一条生产线个月,创造了当时全球最快的建厂速度。2001年9月,当第一片芯片从生产线下来时,张汝京和工程师们抱在一起哭——这些日子里的委屈、疲惫,在这一刻全化成了眼泪。到2003年,中芯国际的晶圆销售额已飙升至3.6亿美元,一跃成为全球第四大芯片供应商,不到10年时间,就在上海、北京、天津等地拥有4座8寸厂、3座12寸厂,并受托运营成都和武汉的12寸厂,2004年成功在香港和纽约证券交易所两地上市。
离职那天,他没穿工服,穿了一件干净的衬衫。他从办公室墙上取下“中芯国际”的铭牌,用布擦了又擦,然后揣在怀里,在厂区里慢慢走。他走到第一条生产线旁,看着机器轰鸣,工程师们低着头干活,没人敢看他;他走到当年自己蹲在地上擦过的无尘室地板,想起开工时的场景;他走到当年打下第一根地桩的地方,泥土已经硬化,上面长满了杂草。他走了3个小时,把整个厂区走了一遍,最后站在厂门口,对着前来送行的工人们,声音沙哑地说:“别趴下!”说完,他转身就走,没回头。有老员工后来回忆,那天的风很大,吹得张汝京的背影有些佝偻,可他一直挺着腰,手里紧紧攥着那个铭牌。
他深知,大陆芯片产业虽然发展迅速,但人才不足、企业分散,单一IDM模式投入太大,纯代工模式协同性弱。而CIDM模式则是“共享IDM”——由海尔、海信、广钢气体等产业链上下游企业共同出资、交叉持股,共享资源和工艺,风险共担、利益共享,既能实现技术协同,又能解决订单问题。为了控制成本,他延续了“淘二手设备”的传统,以原价20%的价格采购国外淘汰设备,再请美国、日本的维修专家带着新人翻修,既省了钱,又让员工熟悉了设备,最终用150亿元建成了别人花两三百亿才能建好的工厂。
2021年8月,芯恩半导体的誓师大会上,张汝京宣布8英寸厂投片成功,产品为功率器件,良率达90%以上,光罩厂也同期完成了产品交付。他对着全体员工说:“大家一定要有耐心、信心、决心,用更有毅力和坚韧不拔的心态,一定把项目做成功,为中国半导体做出贡献”。而青岛国资也持续加码,芯恩2025年的增资项目中,青岛琴鲁鸿创科技合伙企业(背后有山东发展投资集团、青岛城投等国资巨头)等大概率继续追加投资,产业链企业也有望通过“设备作价入股”或“实物资产注入”的方式深度绑定。
讲座现场,一位学生举手提问:“张博士,您已经七十多岁了,为什么还在这么拼命工作?”老人微笑着回答:“因为我父亲曾经问我,什么时候能够回祖国大陆建一座工厂。这个承诺,我用了一生来履行,但还不够”。台下瞬间响起雷鸣般的掌声——没人知道,这个微笑背后,是他四十余年的坚守:从德州仪器到中芯国际,从新昇半导体到芯恩、积塔,他在全球建造、运营管理过40余座集成电路制造工厂,培养了无数行业人才,如今大陆半导体领域诸多企业的CEO、CTO、COO,都来自于他带领的团队。